近日，耐氟隆集團(tuán)與溫州市化學(xué)與材料學(xué)會(huì)氟材料應(yīng)用技術(shù)分會(huì)歐洲考察團(tuán)，赴比利時(shí)、德國(guó)、意大利開展產(chǎn)業(yè)對(duì)接與技術(shù)交流。此次行程以“突破超純電子級(jí)（UHP）襯氟閥門、管件及設(shè)備核心氟材料瓶頸”為核心目標(biāo)，通過深度對(duì)接歐洲知名企業(yè)與產(chǎn)業(yè)園區(qū)，為超純電子級(jí)襯氟部件進(jìn)軍高端半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域?qū)ふ谊P(guān)鍵突破口。

 直擊部件核心痛點(diǎn)，鎖定歐洲材料標(biāo)桿 

考察團(tuán)將核心目標(biāo)聚焦意大利兩大氟材料巨頭—Fluorseals公司與ITAflon集團(tuán)。作為意大利最大的氟材料制品與加工企業(yè)，F(xiàn)luorseals在半導(dǎo)體密封件領(lǐng)域的精密加工技術(shù)與全流程品質(zhì)管控體系，讓考察團(tuán)重點(diǎn)關(guān)注。“半導(dǎo)體濕法工序中的超純電子級(jí)襯氟閥門、管件以及設(shè)備等部件，過流介質(zhì)為電子級(jí)氫氟酸，需要控制金屬陽離子析出量、陰離子含量以及總有機(jī)碳(TOC)含量符合SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)要求，內(nèi)壁表面粗糙度達(dá)到≤0.6μm以下的超潔凈標(biāo)準(zhǔn)，這堪稱襯氟部件制造的‘生死線’。耐氟隆集團(tuán)董事長(zhǎng)方賢樂在參觀時(shí)直言，國(guó)內(nèi)襯氟產(chǎn)品在普通工業(yè)場(chǎng)景已成熟，但半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Σ牧霞兌取⒅圃爝^程杜絕雜質(zhì)污染的嚴(yán)苛要求，導(dǎo)致高端襯氟閥門與管件長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，成為制約公司切入超純電子級(jí)（UHP）襯氟閥門、管件核心供應(yīng)鏈，導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體核心設(shè)備受到制約。

ITAflon集團(tuán)在改性PTFE、PFA等高端材料領(lǐng)域的技術(shù)積累，與耐氟隆需求高度契合。其研發(fā)的超純電子級(jí)（UHP）氟材料通過注塑成型工藝可實(shí)現(xiàn)金屬陽離子析出量≤0.01ppb，能滿足7納米及以下制程的設(shè)備要求，雙方在交流中迅速達(dá)成共識(shí)，明確將技術(shù)合作直接落地到超純電子級(jí)（UHP）襯氟閥門、管件及設(shè)備的升級(jí)上。 

 簽署合作意向，共建襯氟超純電子級(jí)部件國(guó)產(chǎn)化通道

在意大利考察期間，經(jīng)意大利國(guó)家工業(yè)聯(lián)合會(huì)牽頭，耐氟隆與ITAflon正式簽署戰(zhàn)略合作意向書，核心圍繞“半導(dǎo)體級(jí)PFA/改性PTFE材料研發(fā)+襯氟部件一體化應(yīng)用”兩大方向開展聯(lián)合研發(fā)。“耐氟隆在襯氟閥門、管件及設(shè)備領(lǐng)域的全品類生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和國(guó)內(nèi)市場(chǎng)渠道，是我們技術(shù)落地的最佳場(chǎng)景。”ITAflon集團(tuán)董事長(zhǎng)Mirko Zanga表示，歐洲材料企業(yè)缺乏終端部件的應(yīng)用驗(yàn)證能力，而耐氟隆能提供從材料驗(yàn)證到襯氟閥門、管件成型的全流程測(cè)試環(huán)境。方賢樂則補(bǔ)充道：“借助ITAflon的材料技術(shù)，我們的襯氟閥門可實(shí)現(xiàn)低金屬離子析出、表面高潔凈度，管件能避免介質(zhì)滯留與顆粒污染，預(yù)計(jì)可將國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體用襯氟核心部件的自主化率提升40%，打破進(jìn)口產(chǎn)品的價(jià)格壟斷與供應(yīng)壁壘。”雙方計(jì)劃共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，重點(diǎn)解決材料改性后的精密成型工藝問題，確保技術(shù)快速轉(zhuǎn)化為合格的超純電子級(jí)（UHP）級(jí)襯氟產(chǎn)品，服務(wù)于高端半導(dǎo)體行業(yè)。 

對(duì)標(biāo)歐洲生態(tài)，升級(jí)襯氟產(chǎn)業(yè)底座

除企業(yè)對(duì)接外，考察團(tuán)還深入比利時(shí)安特衛(wèi)普、德國(guó)多爾馬根化工園區(qū)，重點(diǎn)學(xué)習(xí)其“材料-部件-終端設(shè)備”的協(xié)同創(chuàng)新模式與潔凈生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。歐洲園區(qū)內(nèi)材料企業(yè)與部件廠商的緊密聯(lián)動(dòng)機(jī)制，為耐氟隆構(gòu)建超純電子級(jí)襯氟產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈提供了關(guān)鍵借鑒。“以前我們聚焦部件生產(chǎn)，這次才發(fā)現(xiàn)，電子級(jí)襯氟產(chǎn)品的突破需要材料研發(fā)、精密加工與潔凈檢測(cè)的同步升級(jí)。”考察團(tuán)負(fù)責(zé)人表示，未來溫州氟材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)的升級(jí)，將圍繞耐氟隆的需求，引入材料純度檢測(cè)、表面粗糙度校準(zhǔn)等配套企業(yè)，形成襯氟閥門、管件及設(shè)備的完整產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

 此次歐洲之行，耐氟隆以“材料技術(shù)聯(lián)姻”打通了半導(dǎo)體襯氟部件的核心瓶頸。未來隨著合作落地，其襯氟產(chǎn)品將實(shí)現(xiàn)從“工業(yè)級(jí)”到“超純電子級(jí)”的跨越，不僅填補(bǔ)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)空白，更能為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的自主可控提供關(guān)鍵的襯氟部件支撐。