2025-10-18來源:
近日,耐氟隆集團與溫州市化學與材料學會氟材料應用技術(shù)分會歐洲考察團,赴比利時、德國、意大利開展產(chǎn)業(yè)對接與技術(shù)交流。此次行程以“突破超純電子級(UHP)襯氟閥門、管件及設備核心氟材料瓶頸”為核心目標,通過深度對接歐洲知名企業(yè)與產(chǎn)業(yè)園區(qū),為超純電子級襯氟部件進軍高端半導體應用領域?qū)ふ谊P(guān)鍵突破口。
直擊部件核心痛點,鎖定歐洲材料標桿
考察團將核心目標聚焦意大利兩大氟材料巨頭—Fluorseals公司與ITAflon集團。作為意大利最大的氟材料制品與加工企業(yè),F(xiàn)luorseals在半導體密封件領域的精密加工技術(shù)與全流程品質(zhì)管控體系,讓考察團重點關(guān)注?!鞍雽w濕法工序中的超純電子級襯氟閥門、管件以及設備等部件,過流介質(zhì)為電子級氫氟酸,需要控制金屬陽離子析出量、陰離子含量以及總有機碳(TOC)含量符合SEMI F57標準要求,內(nèi)壁表面粗糙度達到≤0.6μm以下的超潔凈標準,這堪稱襯氟部件制造的‘生死線’。耐氟隆集團董事長方賢樂在參觀時直言,國內(nèi)襯氟產(chǎn)品在普通工業(yè)場景已成熟,但半導體領域?qū)Σ牧霞兌?、制造過程杜絕雜質(zhì)污染的嚴苛要求,導致高端襯氟閥門與管件長期依賴進口,成為制約公司切入超純電子級(UHP)襯氟閥門、管件核心供應鏈,導致國產(chǎn)高端半導體核心設備受到制約。
ITAflon集團在改性PTFE、PFA等高端材料領域的技術(shù)積累,與耐氟隆需求高度契合。其研發(fā)的超純電子級(UHP)氟材料通過注塑成型工藝可實現(xiàn)金屬陽離子析出量≤0.01ppb,能滿足7納米及以下制程的設備要求,雙方在交流中迅速達成共識,明確將技術(shù)合作直接落地到超純電子級(UHP)襯氟閥門、管件及設備的升級上。
簽署合作意向,共建襯氟超純電子級部件國產(chǎn)化通道
在意大利考察期間,經(jīng)意大利國家工業(yè)聯(lián)合會牽頭,耐氟隆與ITAflon正式簽署戰(zhàn)略合作意向書,核心圍繞“半導體級PFA/改性PTFE材料研發(fā)+襯氟部件一體化應用”兩大方向開展聯(lián)合研發(fā)?!澳头≡谝r氟閥門、管件及設備領域的全品類生產(chǎn)經(jīng)驗和國內(nèi)市場渠道,是我們技術(shù)落地的最佳場景?!盜TAflon集團董事長Mirko Zanga表示,歐洲材料企業(yè)缺乏終端部件的應用驗證能力,而耐氟隆能提供從材料驗證到襯氟閥門、管件成型的全流程測試環(huán)境。方賢樂則補充道:“借助ITAflon的材料技術(shù),我們的襯氟閥門可實現(xiàn)低金屬離子析出、表面高潔凈度,管件能避免介質(zhì)滯留與顆粒污染,預計可將國產(chǎn)半導體用襯氟核心部件的自主化率提升40%,打破進口產(chǎn)品的價格壟斷與供應壁壘。”雙方計劃共建聯(lián)合實驗室,重點解決材料改性后的精密成型工藝問題,確保技術(shù)快速轉(zhuǎn)化為合格的超純電子級(UHP)級襯氟產(chǎn)品,服務于高端半導體行業(yè)。
對標歐洲生態(tài),升級襯氟產(chǎn)業(yè)底座
除企業(yè)對接外,考察團還深入比利時安特衛(wèi)普、德國多爾馬根化工園區(qū),重點學習其“材料-部件-終端設備”的協(xié)同創(chuàng)新模式與潔凈生產(chǎn)標準。歐洲園區(qū)內(nèi)材料企業(yè)與部件廠商的緊密聯(lián)動機制,為耐氟隆構(gòu)建超純電子級襯氟產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈提供了關(guān)鍵借鑒?!耙郧拔覀兙劢共考a(chǎn),這次才發(fā)現(xiàn),電子級襯氟產(chǎn)品的突破需要材料研發(fā)、精密加工與潔凈檢測的同步升級?!笨疾靾F負責人表示,未來溫州氟材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)的升級,將圍繞耐氟隆的需求,引入材料純度檢測、表面粗糙度校準等配套企業(yè),形成襯氟閥門、管件及設備的完整產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
此次歐洲之行,耐氟隆以“材料技術(shù)聯(lián)姻”打通了半導體襯氟部件的核心瓶頸。未來隨著合作落地,其襯氟產(chǎn)品將實現(xiàn)從“工業(yè)級”到“超純電子級”的跨越,不僅填補國內(nèi)市場空白,更能為中國半導體設備的自主可控提供關(guān)鍵的襯氟部件支撐。